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详解油扩散泵


 

油扩散泵是用来获得高真空或超高真空的重要设备。其主要特征尺寸为泵入口直径,当入口直径确定之后,其他连接尺寸和主要性能参数都有标准规定。扩散泵的入口直径在65-1600mm之间,极限压力最低可达10-8PA,抽气速率可以从每秒几十升到十几万升,最大出口压力在30-70PA之间。它广泛应用于真空冶金、真空热处理、真突镀膜、电子工业、航空航天、原子能等工业领域。

油扩散泵主要由挡油帽、泵体、泵芯、电加热器和挡油器五大部分组成。通过这五部分结构形状、尺寸的变化,可以衍生出许多不同的结构形式

油扩散泵按挡油帽可分为水冷和无水冷的两种型式。根据泵体油扩散泵可分成直腔泵和凸腔泵,根据泵芯蒸汽喷嘴的级数,可分成二级泵、三级泵,四级泵和五级泵。

根据加热器的安放位置.可分为内加热扩散泵和外加热扩散泵。当前市场上销售的泵大多数是外加热式,加热器为普通电炉,热损失比较大。从节能的角度考虑,今后应发展内加热式泵,但应合理解决加热器的电绝缘和通过泵壁的密封问题。

扩散泵上还有一些辅件,包括油温继电器,水温电器,油标,灌油口、放油口,快速冷却器等。快速冷却器其实就是缠绕在泵体底部靠近电炉的冷却水管,泵在正常工作时不通水,当泵停止加热时,通入冷却水,目的是使扩散泵油快速冷却,以便停止前线机械泵的运行,达到省时、节电的目的。快速冷却器通水,一直到泵底温度接近50℃时,方可断水。

油扩散泵使用的注意事项

调试好的新泵可直接接人真空系统工作。旧泵或长期放置的新泵,在接人真空系统前,应对泵中零件进行清洁处理,并换油。

①除去泵芯表面和泵壁上的杂质和各种油污。

②用**、四氯化碳或干净汽油擦洗各零体和泵内壁表面,玻璃油扩散泵用重铬酸钾洗液淸洗。保持周围环境清洁,无灰尘,然后用热风吹干。

③按顺序将泵芯装人泵体内,调整好各级喷嘴间隙,然后按规定数量加足泵油,可根据经验测量油层深度,一般约1?2cm深即可。

④检査加热电炉的电炉丝是否烧断、短路,电炉的绝缘性能、保温性能是否良好。

⑤检查水冷管(或水冷套)是否漏水、堵塞,要求水路畅通,水量充足。

⑥将泵接入真空系统,并对系统进行检漏,要求系统漏气率在允许范围内。



 

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