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真空测量与真空规校准


 

真空度测量与真空规校准是真空技术的重要组成部分。

真空度测量指的是在低于大气压的条件下,对气体全压力的测童。

真空计是测量低于1.01X10-5PA(—个大气压 ) 的全压力的测量仪器,一般由真空规和控制线路两部分组成。

真空规可分为绝对真空规和相对真空规。绝对真空规是从所测出的物理量就能直接计算出气体压力的真空规。相对真空规是根据输出倍号与气体压力之间的关系,通过真空测量标 准校准后才能确定的真空规。

真空测量标准可分为绝对真空校准装置和相对真空校准装置两大类。绝对真空校准装置 是从所测出的物理直接计算出压力来校准真空规。相对真空校准装置是相对真空规作 为主标准器,必须经过绝对真空校准装置的校准,然后对真空规进行校准。

目前,从大气压到10-10PA压力范围内真空度的测量问题已经解决了。一般是采用不同 类型的真空规去测量不同压力区间的气体压力。但是在解决10-11PA-10-13PA压力范围的极高真空测量方面进展缓慢。要用已有的真空规直接测量特殊条件下的真空度是困难的,还 要对规的结构、工艺、理论等多方面的问题进行探讨。真空系统中稀薄气流的非均匀分布问 題,以及对非均匀气流的压力测量,已成为近年来详加研究的课题。

在从大气压到10-10PA压力范围内,已有各种类型的绝对真空规和绝对真空校准装置,并从大气压到l0-7PA压力范围内开展了各种双边和多边真空量值的比对工作,取得了较好的一致性。在10-8PA-QO-10PA压力范围内没有进行过任何比对。因此要达到真空量值的国际统一,还有大量的工作要做。



 

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