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真空系统的种类和工作状态


真空系统的种类及工作状态

真空系统广泛用于各种不同的工艺过程,其种类十分繁多,按真空系统抽气过程的状态来分,有两大基本类型,即开式真空系统和闭式真空系统。

开式真空系统系统中有气体流动,各处压力不等,系统中各截面之间有压力差,最后一级按真空系统的工作压强分,有粗真空系统、低真 空系统、髙真空系统、超髙真空系统、极离真空系统。

按真空系统的淸洁程度分:有油真空系统、无油真空系统。

按被抽系统的结构材料分:玻璃真空系统、金属真空系统。

由于人们的习惯,在实际应用中也经常把上述不同的分类加以综合,诸如“大型动态金属高真空系 统”、“无油超髙真空系统”、“玻璃高真空系统”等。可见上述分类方法不是严格不变的,往往结合真空系统的特点给以恰如其分的称呼,可能更适用些。

把真空系统加以分类的目的,在于找出同类真空系统的特殊性,用以指导各种真空系统的设计,制造,装配和使用.



 

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